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技术文章
蒸汽流量计之间的比较
点击次数:发布时间:2013-01-30 09:49

        蒸汽流量计的测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点;可以同时测量4种参数:气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压,并且可以同时显示和输出。虽然传统的热式原理不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量,但是热式原理产品具有先天性的缺陷:长期加热的工作模式产生的热漂移,反应速度慢等缺点是不可避免的。而采用差压原理的气体质量流量控制器/流量计几乎无零点和温度漂移,反应速度快,无需预热,上电即可操作,解决了长期困扰客户的问题。目前,一些领先的蒸汽流量计厂家正在纷纷开发高科技的蒸汽流量计。
       1、半导体工业应用半导体工业曾是TMF主要服务对象。TMF是应承半导体业需求的推动而得到蓬勃发展,应用于扩散、氧化、外延、等离子刻蚀、溅射等工艺设备中,测量和控制超净气体或腐蚀/有害气体流量,如氢、氨、氟化氢、三氟化氮、氧化氮、砷化三氢、磷化氢等。1995年世界范围内半导业仍购置了三千余万美元的TMF,约占热式流量仪表市场的1/3; 
       2、分析仪器采样气体测量气体色潜仪和环境保护等分析仪器气体取样量或大气采集量所用的配套用流量仪表,原常用浮子流量计,现在凡要求较高者渐被气体TMF所代替,其应用非常普遍; 
       3、蒸汽流量计机械构件密封性测试和尺寸精密测量例如测量阀门等机械构件气密性指标中的气体泄漏量,测量小孔尺寸和过滤材料透气性测试等。
       本文来自:蒸汽流量计http://www.abg28.cn/

 
  
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